我電子級高純硅烷氣生產技術躋身國際行列

　　產品質量具有國際先進水平、國內規模最大的年產5000噸氣相法二氧化硅裝置正在建設中，配套建設、國內首創年產1000噸電子級高純硅烷氣項目，8月15日已完成設計和土建工作。7月，經天津大學測試，赤峰盛森硅業科技發展有限公司中試產品電子級高純硅烷氣純度超過7N，標志著我國此類硅烷氣生產技術水平躋身國際先進行列。

　　氣相法二氧化硅是一種重要的納米無機化工材料(被稱為工業味精);電子級高純硅烷氣是電子化工材料新門類、微電子產業的重要支撐材料之一，這兩種材料在民用、工業、國防領域均有廣泛用途。赤峰盛森硅業科技發展有限公司自主研發單套年產5000噸氣相法二氧化硅裝置，創新性地采用先進的閉式爐和分段熱回收工藝，確保了產品質量提高。2011年6月，公司與青海大學、天津大學開展產學研合作，自主研發，首創了用歧化催化法生產高純硅烷氣技術，填補了國內空白，突破了國外技術封鎖。

　　赤峰盛森硅業科技發展有限公司的氣相法二氧化硅和硅烷氣項目，在硅產業園區內部形成了一個完整的物料閉路循環體系：氣相法二氧化硅項目以四氯化硅和氫氣為原料，副產品為鹽酸;鹽酸解析出的氯化氫與硅粉反應生產三氯氫硅，副產的氫氣用于生產氣相法二氧化硅;三氯氫硅經歧化催化反應生產電子級的高純硅烷氣;硅烷氣生產過程中副產大量的四氯化硅再用于氣相法二氧化硅產品的生產。兩個項目形成互相利用對方副產物生產高附加值產品的良好格局，達到無三廢排放的循環體系，并且回收了整個生產過程中的余熱，產品能耗與同行業相比降低70%。

　　專家稱，赤峰盛森硅業科技發展有限公司生產氣相法二氧化硅和電子級高純硅烷氣，副產物相互利用，是一個具有經濟和環保雙重效益的工藝技術，將進一步提高我國硅產業的技術水平和市場競爭力。