| 儀器名稱： | 手動探針臺-Semishare SH-12 |
| 儀器編號： | 18026682 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | 森美協爾 |
| 型號： | Semishare SH-12 |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2018-10-25 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>高精尖 |
| 放置地點： | 荷清大廈高精尖一層實驗室 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | 15210967285 |
| 固定email： | jtyang@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 楊建濤（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 |
| 技術指標： | 12" 卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品，均獨立控制，中心吸附孔最小可以選擇250微米，卡盤平整度: 5μm， 標準卡盤可360度無間隙旋轉，卡盤旋轉微調+-15°，調節精度0.1°/4、卡盤X/Y軸無間隙移動，采用大手柄旋轉控制，行程：12英寸X12英寸，移動精度：1um，并帶鎖死裝置，可調節顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內移動，精度1微米（系統不包含顯微鏡），探針平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能，探針平臺可以上下微調，行程25mm，升降精度1um，顯微鏡可以實現50~500倍連續可變，磁力吸附，帶磁力開關，X-Y-Z 方向的移動行程分別為12mm，精度0.7 微米。 USB接口高清（500萬像素）CCD |
| 知名用戶： | 付軍（微電子），任天令（微電子），王燕（微電子），吳華強（微電子），閆劍鋒（機械系），趙嘉昊（精儀系） |
| 技術團隊： | 測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援。 |
| 功能特色： | 連接晶圓與測試設備，開展電學測試 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
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| 手動探針臺測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 80.0 |