擴散泵報警什么原因:
檢查擴散泵上的循環水還有嗎~或者是擴散泵循環水上的傳感壞了.
擴散泵常出現的故障：
1：極限真空變低，原因：
a.系統中有滲漏；
b.系統太臟；
c.泵油污染；
d.加熱功率不夠；
e.冷卻水不足；
f.過量或過冷的冷卻水；
g.前級壓力高；檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象；
h.快冷管內有水。
2： 抽氣較慢，原因：
a.加熱功率低；
b.油量不足；
c.噴帽安裝位置不當或受損。
3：進口壓力波動，原因：
a.加熱器輸入功率不當；
b.油脫氣；
c.擴散泵進口前面系統有滲漏。
4：工作腔污染大，原因：
a.前級壓力高；
b.在高于10-1Pa壓力下長期工作；
c.系統操作有誤。
5：返油率過大，原因：
a. 頂噴嘴帽松動，間隙過大；
b. 加熱功率不對；