擴散爐智能控制系統設計重點有以下幾個方面
總體來說，控制系統的選用，可以PLC+上位機，也可以直接PLC 。
1）溫度控制，一般采用智能溫控儀來控溫，擴散爐分為口、中、尾三段獨立控溫。溫度點可以修正補償。溫控儀最好是通信的，這樣便于集成控制。
2）功率加熱，爐體采用合金爐絲，加熱建議采用可控硅移相的方式。
3）氣體控制，爐體中得通入比例的氣體，這里需要用到MFC精確控溫，可以模擬量控制，也可以選用通信方式的。
4）控制系統，必須有幾十條工藝可以存儲。每條工藝根據需要至少得有10步滿足使用。運行過程中，需要根據客戶設定的時間推移，程序跳步，動態給定口中尾溫度，動態給定氣體流量。
5）安全監測設計，口中尾溫度超溫巡檢，切斷電源等保護措施。歷史事件記錄追溯查詢。
6) 輔助機構的設計，比如進舟機構。