掃描俄歇微探針（SAM）；
基本功能：
（1）可進行樣品表面的微區選點分析（包括點分析，線分析和面分析）；
（2）可進行深度分析；
（3）化學價態研究
用途：
納米薄膜材料，微電子材料的表 面和界面研究及摩擦化學研究。
