觀察試樣的各個區域的細節。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同,由于工作距離大(可大于20 mm) ,焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍) ,樣品室的空間也大,因此,可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動(即三度空間平移,三度空間旋轉) ,且可動范圍大,這對觀察不規則形狀試樣的各個區域細節帶來極大的方便。
