一．掃描電鏡的特點
能夠直接觀察樣品表面的結構，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
樣品制備過程簡單，不用切成薄片。
樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉，因此，可以從各種角度對樣品進行觀察。
景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。
圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。
電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析。
二．掃描電鏡的用途
顯微結構的分析
納米尺寸的研究
鐵電疇的觀測