掃描電鏡是高能電子散射固體材料,可獲得許多特征信號!
微觀成像是掃描電鏡基本功能,要求高分辨,so可為其他特征信號分析提供精確導航!
sem一般標配se探測器,用se信號獲得高分辨像,且se信號可以充分代表掃描電鏡電子光學性能。
why
se
not
other?
比靠斯:在電子束樣品作用區,可能只有se取樣面積與電子束斑尺寸最接近,且對其尺寸敏感!
敏感到啥程度?
例如樣品是黃金,se1的取樣面積和束斑面積相同。
bse也是常用成像信號,但對于黃金樣品,電子探針束斑直徑1nm
或
2nm,其空間分辨率沒有差別。其信號取樣范圍直徑和電子穿透深度相近,大多情況,其分辨率和加速電壓相關較多。
總結:提到掃描電鏡分辨率,大概就是在說這臺電鏡的性能,用se成像分辨率是最為精確的表達,主要影響因素為末級電子探針束斑直徑和樣品材質。