掃描電鏡成像原理

? 掃描電鏡成像原理??

 從電子槍陰極發出的電子束，經聚光鏡及物鏡會聚成極細的電子束（0.00025微米-25微米），在掃描線圈的作用下，電子束在樣品表面作掃描，激發出二次電子和背散射電子等信號，被二次電子檢測器或背散射電子檢測器接收處理后在顯象管上形成襯度圖象。二次電子像和背反射電子反映樣品表面微觀形貌特征。而利用特征X射線則可以分析樣品微區化學成分。

?掃描電鏡成像原理與閉路電視非常相似，顯像管上圖像的形成是靠信息的傳送完成的。電子束在樣品表面逐點逐行掃描，依次記錄每個點的二次電子、背散射電子或X射線等信號強度，經放大后調制顯像管上對應位置的光點亮度，掃描發生器所產生的同一信號又被用于驅動顯像管電子束實現同步掃描，樣品表面與顯像管上圖像保持逐點逐行一一對應的幾何關系。因此，掃描電子圖像所包含的信息能很好地反映樣品的表面形貌。