掃描電鏡的維護保養項目

掃描電子顯微鏡屬于高真空系統的儀器，對樣品和制備和真空系統的維護都有一定的要求。各型號掃描電鏡的維護都有自己不同的要求。
　　1、電子槍的維護
　　掃描電鏡電子槍是有壽命的，在實驗結束后，關閉電子槍，可延長電子槍的壽命。冷場發射掃描電鏡電子槍需要定時短暫加熱針尖至2500K(此過程叫做flashing)，以去除所吸附的氣體原子。
　　2、物鏡光闌的維護
　　掃描電鏡物鏡的光闌離樣品最近，工作狀態下光闌處于加熱狀態，再關掉光闌后需要冷卻半小時才可以關掉冷卻循環水。光闌使用一段時間后容易結碳，影響成像的效果，此時要及時要打開樣品室，清潔光闌。現在有些高配置的儀器光闌有自清潔功能，省去了清潔光闌的繁瑣。
　　3、樣品的制備要求
　　由于掃描電鏡的高真空系統，樣品進入交換室之前要仔細檢查，確保沒有易揮發的物質及未粘牢的粉末，破換樣品室的真空度。對于磁性樣品也不可進入樣品室破壞電磁透鏡系統。樣品的高度要嚴格控制，以防止碰壞樣品室的光學部件。對于生物樣品要清洗、固定、脫水、干燥，鍍膜后才能觀察。
　　4、送樣桿和交換室的清潔
　　掃描電鏡送樣桿和交換室在換樣品時經常暴露在大氣中，容易受到灰塵的污染，降低真空密閉效果，因此要及時清結，以防把灰塵帶到樣品室的真空系統中污染光闌。用丙酮擦干凈送樣桿和交換室的門以及密封圈，再在送樣桿和密封圈上均勻的涂上一層真空硅脂即可。
　　5、機械泵的維護
　　經常檢查掃描電鏡機械泵的油液面，看其液面是否在窗口油位刻線的水平上，若在窗口油位刻線的水平下，應馬上添加機械泵油，如果觀察到機械泵窗口油顏色變深，應馬上更換機械泵油。若機械泵出現故障要及時修理，并換上備用泵，以保證真空度。
　　6、循環水的維護
　　定期檢查掃描電鏡循環水狀況，水位低于警戒線，應馬上添加純凈水，若循環水混濁變質，應馬上更換循環水，防止循環系統堵塞和結垢，影響水循環系統的工作效率。