樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺寸來設計大小，并配套了相應的精密移動定位功能。
光學元件：這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針尖端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數碼相機，或者兩者兼有。
探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖匹配。
射頻探針：射頻探針的本質為適配器，將芯片測量接口轉為同軸或波導端口。常見的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數有高工作頻率、探針針尖距（Pitch）等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達110 GHz（MPI目前適配安利的擴頻模塊可到220G）波導接口的射頻探針頻率高達1.1 THz，有一些型號的探針可以選配BiasTee。
校準：微波射頻在片測試的校準主要是指S參數校準，可以通過使用校準片完成校準。一般的校準片提供開路（Open）、短路（Short）、匹配（Match）、直通（Through）和延遲線（Line）標準件，可完成TOSM校準或TRL校準或SOLT或SOLR或LRM等。
可以利用廠家提供的標準件參數，一般廠家提供的校準件參數包括開路電容、短路電感、負載阻抗及寄生電感、直通/延遲線電長度等，根據這些數據，可以在矢量網絡分析儀中編輯校準件，完成校準。
探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。
操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當的位置。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖端，并且在某些情況下提供旋轉運動。
網絡分析儀：雖然傳統網絡分析儀也能有效地測量有源器件，例如放大器、混頻器和轉換器，但它們不能提供當前研發和生產工程師所渴望的精度、易用性和速度。而這些功能對于無線通信行業來說至關重要—在這些行業中，產品上市速度往往能夠決定一家公司的成敗。例如，在生產過程中，任何生產延期或產量下降都會極大影響公司在時間和成本方面的底線。另外，使用傳統網絡分析儀對眾多不同元器件進行多種測量是一個漫長和乏味的過程，并且需要不斷重新調整測試設備設置，使測試變得更繁雜。為此，當今的工程師需要一個更快、更高效的替代解決方案。
新型綜合網絡分析儀—集多種工具的功能于一身。它除了能夠快速和精確地進行多種測量..........