目前世界出貨量第一的型號吸收了最新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。
特性1：OTS-最近的位置對正系統（光學目標對準） OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于東京精密的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。
特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統） 為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置（QPU），達到高剛性，高穩定度的接觸。 更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。