摻雜薄膜中超輕元素的EDS定量分析

通常對薄膜表面形貌和化學分析利用的俄歇電子能譜、X射線光電子能譜和二次離子質譜儀等都有著不同程度的缺點和不足,而附帶X射線能譜儀(Energy Dispersive X-ray Spectrometer簡稱EDS)的掃描電子顯微鏡,是比較通常的儀器,操作比較簡單,對樣品的破壞性要小得多,作為一種快速無損多元素檢測方法,在觀測樣品形貌特征的同時還可以樣品微區的成分分析。