單色光源如氦氖激光器照明小孔H，形成一點光源。點光源射出的光束經分光鏡G反射后，射向透鏡L2，變成平行光束，然后垂直射向標準平晶P。一部分光被P上表面反射，另一部分光透過P射向被測件Q。被Q上表面反射的光束和被P上表面反射的光束進人觀測系統后，會產生等厚干涉條紋，用以測量Q上表面的面形誤差。若將標準平晶P改為球面樣板，即下表面為球面，則可測球面的面形誤差。把標準件P拿掉，使被測件Q的上、下表面反射的光束干涉，則可測Q的平行度
