新品發布|伯東自制質譜儀：高效氣體分析，智能軟件賦能

　　在現代工業與科研領域，高效、精準的氣體分析系統已成為提升工藝質量與研發效率的關鍵。上海伯東自主研發的伯東自制質譜儀，正是為應對這一挑戰而生的一款高性能、緊湊型氣體分析解決方案。該質譜儀集高精度定量分析、實時過程控制與智能軟件于一體，適用于半導體制造、先進材料處理、真空監測、泄漏檢測等多種嚴苛應用場景，助力客戶實現更智能、更可靠的氣體分析。

　　產品亮點

　　智能軟件平臺

　　直觀的圖形用戶界面，支持數據采集、定量分析及高級數據處理，實現一鍵式自動化操作。

　　廣泛應用場景

　　涵蓋氣體純度分析、真空監控、泄漏檢測、實時過程控制等，特別適用于半導體工藝、ALD/ALE 工藝、EUV 鏡面管理等高端制程。

　　高速實時監測

　　高達每秒1000次讀數/amu，確保快速響應與精準的終點檢測。

　　先進質量過濾器

　　采用高性能四極桿質量分析器，提供卓越的質量分離能力與信號穩定性。

　　雙檢測器系統

　　配備法拉第杯/二次電子倍增器（SEM），實現寬動態范圍與極低的檢測限。

　　核心技術優勢

　　伯東自制質譜儀不僅具備出色的分析性能，還集成了先進的工藝控制與通信能力：

　　實時過程監控：支持多通道高速數據采集，適用于快速變化的工藝環境。

　　嵌入式過程邏輯控制器：可直接安裝于工藝腔體，實現本地化智能控制。

　　工業級通信協議：支持EtherCAT、Modbus、RS232/RS422，確保與現有設備無縫集成。

　　產品規格一覽

　　典型應用領域

　　工藝腔體管理與匹配

　　ALD/ALE工藝監控

　　干泵管理

　　泄漏檢測

　　氣體輸送純度與雜質分析

　　EUV光學系統管理

　　結語

　　伯東自制質譜儀以其卓越的分析精度、高速響應能力與智能化的控制系統，成為工業氣體分析與過程監控的理想選擇。上海伯東將繼續致力于為客戶提供領先的分析儀器與解決方案，推動中國高端制造與科研創新向前發展。