應經常檢查油位和油的污染情況(建議每周一次)。如油位過低應停旋片式真空泵加入合適的真空泵油至油窗高度的4/5處。如果油被污染油將發黑、乳化、變稠、應及時換油。
更換真空泵油及油過濾器：
旋片式真空泵建議泵第一次工作滿150小時后換油。以后每工作500小時換油。換油同時，應更換油過濾器。如果油受污染發黑、乳化、變稠應及時換油。并在加入新油之前清洗泵。
清洗，換油步驟：
1.停旋片式真空泵將熱油放掉。
2.旋上放油塞運轉5—10秒。
3.將油放盡。
4.注入清洗用油(32號普通機械油)到油窗高度的3/4處。
5.運轉XD旋片式真空泵5—10分鐘。
6.停泵，將油放掉。如油尚不能達到要求，重復4、5步驟。
7.旋上放油塞運轉5—10鈔。
8.將油放盡。
9.注入規定的新旋片式真空泵油。
更換排氣過濾器：
如果泵溫明顯升高、電動機電流達到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產生，則應檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0．6bar(表壓力)時更換排氣過濾器。
清洗吸氣過濾網：
吸氣濾網應保持清潔，以免抽速下降。
貯藏：
如果泵長期擱置不用，應將油放盡并清洗泵，然后注入規定的新油放置在干燥場所。