無機質譜儀
火花源雙聚焦質譜儀。
電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）。
二次離子質譜儀（SIMS）
輝光放電質譜儀（GDMS）
但以上的分類并不十分嚴謹。因為有些儀器帶有不同附件，具有不同功能。例如，一臺氣相色譜-雙聚焦質譜儀，如果改用快原子轟擊電離源，就不再是氣相色譜-質譜聯用儀，而稱為快原子轟擊質譜儀（FAB MS）。另外，有的質譜儀既可以和氣相色譜相連，又可以和液相色譜相連，因此也不好歸于某一類。在以上各類質譜儀中，數量最多，用途最廣的是有機質譜儀。
