SMC真空過濾器ZFA系列防止由固體異物造成真空元件的故障。由于可在SMC真空過濾器濾芯內捕捉固體異物，因此殼內無殘留。
SMC真空過濾器ZFA系列設計可更換濾芯的夾頭式過濾器，可集裝10位，濾芯的過濾面積大，并且可以在任意方向安裝。
SMC真空過濾器ZFA100、ZFA200系列規格
使用空氣、氮氣介質
使用壓力范圍-100~0KPa
真空破壞壓力MAX. 0.5MPa(不能加壓保持)
使用及環境溫度范圍5~60℃
過濾精度30μm(捕捉效率95%)
濾芯更換壓差20kPa
SMC真空過濾器的濾芯更換方法：
1、停止SMC過濾器運轉，使過濾器的內壓變為大氣壓。
2、擰松緊定螺釘，打開蓋。
3、捏住SMC濾芯上部的提手部，取出。
4、確認墊片有無破損，變形，膨脹等，確認有異常的場合，請更換新品。
5、按相反的順序更換新濾芯。另外，將濾芯插入殼體時，若插入時方向錯誤，則無法合上蓋。
6、關閉蓋，擰緊緊定螺釘。
7、確認各部無泄漏后，開始實際運轉。