1）電子顯微鏡中主要有SAED選區電子衍射、μ-衍射、納米衍射、CBED會聚束衍射、EBSD背散射電子衍射五種電子衍射。 2）操作特點： ①SAED選區電子衍射采用TEM模式，利用μ級平行入射電子束照射試樣，通過物鏡像平面處的選區光闌選取特定區域做電子衍射，得到與選擇區域對應的電子衍射花樣。 ②μ-衍射采用STEM模式，利用μ級針狀入射電子束照射試樣的固定區域，無需光闌選擇成像區域，因此不存在選區衍射誤差。 ③納米衍射與μ-衍射類似，主要差別在于納米衍射的入射電子束為納米級，體積更細小，因此能夠對試樣的更微小區域進行分析。 ④CBED會聚束衍射采用STEM模式，入射束由平行束變為錐狀會聚束，并且后焦面處得到擴展的衍射斑點（圓盤狀），盤的大小與入射束的會聚角有關。因此伴隨著會聚角的變化，能夠獲得散射電子的信息，實驗過程中要避免透射盤與衍射盤相交。 ⑤EBSD背散射電子衍射是入射束打到試樣上形成的背散射電子發生衍射，形成衍射錐，最終獲得EBSD衍射花樣。