1912年,Pregl 應用德國的Kuhl-mann制出的微量天平建立了碳氫元素微量分析方法。
1914年,諾貝爾化學獎獲得者FritzPregl研發第一代微量分析儀。
1960年~至今,有人嘗試將氣相色譜法用于元素分析,并獲得了初步成功。后經不斷改進,微量化、自動化、計算機數據處理以及多元素聯合測定成為有機元素分析的新特點。