機械泵的維護主要是更換機械泵油。通過機械泵的油面窗口可以看到泵油的顏色，正常情況下，泵油的顏色應該為無色或者淺黃色如果泵油顏色變暗或呈深褐色，表明泵油的質量下降，需要更換，一般情況下每三個月更換一次。不同公司的泵油不可以混合使用，當需要更換不同公司品牌的泵油時，必須用新泵油潤洗至少一次。維持適當的油面高度也是機械泵的日常維護工作之一，當機械泵處于工作狀態下時，油面高度應在最小與最大刻度之間。機械泵需要定期進行震氣，震氣的目的是將捕集在回油裝置的機械泵油重新抽回至機械泵內，以確保機械泵內有足夠的油，同時震氣也能將溶解在機械泵油里面的氣體和溶劑盡量排出。震氣時只需將震氣閥打開保持15min左右，一般情況下每周進行一次震氣。此外，機械泵需要定期清理散熱片上的灰塵，以免灰塵積累較厚影響散熱機械泵的連接管路也需要定期檢查是否老化損壞，如果老化損壞必須及時更換，不然將影響儀器抽真空效果。安裝真空部件時，用甲醇濕潤無塵紙沿一個方向將外露的O形圈擦拭干凈，并將與O形圈接觸部件的相應位置也擦拭干凈，否則這兩個地方任何部位有纖維、顆粒之類的物質殘留，都會令密封不實而導致漏氣，從而影響儀器真空度。分子泵的日常維護內容相對較少，有的分子渦輪泵每隔數年需要更換潤滑油芯。平常保持分子泵的良好散熱和避免非正常斷電能在一定程度上延長分子泵的使用壽命。