材料表面分析技術是通過分析探束或探針與材料表面發生作用產生的許多信息而研究表面的。主要分為表面形貌分析、表面組分分析和表面結構分析等幾大部分,其中表面形貌分析技術有掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等;表面組分分析技術主要有俄歇電子能譜、光電子能譜、二次離子質譜、電子探針顯微分析、離子探針顯微分析等;表面結構分析技術主要有X射線衍射、電子衍射和中子衍射等。本文主要討論了上述方法技術的原理、適用范圍及特點。
