校準過程應按照儀器說明書的要求，將探頭慢慢靠近標準漏孔（或漏率校準裝置的漏孔）至指定的距離（一般為5mm～10mm） ，待讀數穩定后測量示值誤差。由于標準漏孔（或漏率校準裝置） 復現的泄漏值都較小，容易受到周圍空氣流動的影響，所以應避免測試環境中有空氣流動或壓力的突變。
示值重復性是評估儀器提供相近示值的能力，而穩定性是評估計量特性隨時間恒定的能力。這兩個指標是檢測泄漏源動態的基礎，對泄漏的實時監測具有重要意義。示值重復性是用六次測量的相對標準偏差來評估。穩定性是用零點和量距點隨時間的變化量來評估。校準過程與示值誤差方法相同。