XRF樣品制備簡單,但并非無需樣品處理,XRF對樣品中元素分布均勻性、樣品顆粒度、樣品表面光滑度、表面粉塵、礦物效應等有要求,這些方面都會不同程度影響分析精度,使用者可以通過相關的樣品制備方法消除或者改善這些影響,譬如:研磨、壓片、拋光、熔片等方法是XRF通常采用的樣品制備方法。