1、應用領域
半導體、微電子、MEMS、通訊、數據存儲、光學鍍膜、平板顯示器、科學研究、物理、化學、生物、醫藥
2、可測材料
半導體、介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質和石墨烯等等
3、最新發展
成像橢圓偏振技術正在引起越來越多的興趣。研究人員發現利用成像橢偏技術可實現超小塊薄膜分析、原位橢偏測量、各種液體環境下的橢偏分析并且可以實現和多種技術聯用，如布魯斯特角顯微鏡、表面等離子共振、原子力顯微鏡、石英晶體微天平、LB槽、反射光譜儀、太赫茲光譜儀以及拉曼光譜儀等等。這些新特點拓展了橢偏儀的應用領域。這橢偏技術帶來了新的研究熱點的同時也給該技術帶來了挑戰，例如在非穩定液體表面的薄膜的測量和顯微成像等。