1、莫塞萊定律(Moseley’s law)
反映各元素X射線特征光譜規律的實驗定律。莫塞萊研究從鋁到金的38種元素的X射線特征光譜K和L線，得出譜線頻率的平方根與元素在周期表中排列的序號成線性關系。表明X射線的特征光譜與原子序數是一一對應的，使X熒光分析技術成為定性分析方法中最可靠的方法之一。
2 、布拉格定律(Bragg’s law)
反映晶體衍射基本關系的理論推導定律，1912年英國物理學家布拉格父子（W.H. Bragg和W.L. Bragg）推導出了形式簡單，能夠說明晶體衍射基本關系的布拉格定律。此定律是波長色散型X熒光儀的分光原理，使不同元素不同波長的特征x熒光完全分開，使譜線處理工作變得非常簡單，降低了儀器檢出限。
3、 比爾-朗伯定律(Beer-Lambert’s law)
反映樣品吸收狀況的定律涉及到理論X射線熒光相對強度的計算問題。對于X射線熒光分析技術來說，原級射線傳入樣品的過程中要發生衰減，樣品被激發后產生的熒光X射線在傳出樣品的過程中也要發生衰減，由于質量吸收系數的不同，使得元素強度并不是嚴格的與元素濃度成正比關系，而是存在一定程度的偏差。因而需要對此效應進行校正，才能準確的進行定量分析。