在加速器輻射和空氣的相互作用中，加速器的光子不能直接引起 電離，而是通過光電吸收、康普頓散射和電子對生成作用損失 能量，產生次級電子。加速器的初級電子雖然引起 電離，但是引起 空氣電離的主要還是次級電子。加速器光子或初級電子在與物質的作用中首先產生次級電子，而作為 電離室，進入 電離室空氣空腔的次級電子主要在電離室的壁中產生的。由于壁的材料的 密度比空氣大得多，產生的電子也多，因此隨著壁厚的增加，進入電離室空氣 靈敏體積的次級電子增加，當電離室壁厚增加到一定程度，電離室壁對次級電子的阻擋作用開始明顯，并最終使得進入靈敏體積的次級電子和逃出靈敏體積的次級電子相等，我們便稱這種狀態為“電子平衡”，或稱“電子建成”。廣義的說，所謂電子平衡，是指進入測量體積元的次級電子 能量等于離開該體積元的次級電子能量。當 射線的 能量高時，次級電子的能量也高，穿透的材料厚度增大，達到電子平衡的厚度也增大。