氣體質譜儀，多用于生產研究之中來監測氣體和進行過程分析。氣體質譜儀應用的領域十分廣泛：如真空科學工業中加速器、高真空、超高真空系統和器件中的氣體分析，航天航空工業中燃料箱、發動機、密封倉安全檢漏、多種氣體分析；電子工業中真空鍍膜、微波管、彩色顯像管等生產中的氣體分析，環境監測中車載（船載）質譜監測、土壤、水質、空氣質量分析以及表面科學分析、痕量氣體分析、催化反應監測、石油化工、冶金、熱重儀器的氣體分析等多個方面。
