（一）、真空系統：2級真空：
機械泵和渦輪分子泵
機械泵一般時前級真空，也就是在機械泵把真空降到一定水平后才啟動渦輪分子泵，以保護分子泵。所以儀器從大氣壓到真空合適的狀態一般要經過一段時間的。
（二）、進樣系統：
從分離裝置來的組分（氣體或者液體）或者從直接進樣桿進液體或者固體樣品。
（三）、離子源
離子源： 主要作用是使欲分析的 樣品實現離子化，尤其是中性物質帶上電荷。
樣品本身性質的差異，決定了離子化的方式不能有萬能的離子源，離子源的類型也是多種多樣。
（四）、質量分析器
質量分析器是質譜儀的核心部件，因此常以質量分析器的類型來命名一臺質譜儀。
( 五）、檢測器：目前是光電倍增器應用較廣。
( 六）、采集數據和控制儀器的工作站