氦質譜檢漏儀以及氦質譜檢漏，在實際應用中，氦質譜檢漏顧名思義一般都會采用氦氣作為最主要的示漏氣體，這是為什么呢？
氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：
1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。
2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。
以上這些因素都為提高氦質譜檢漏儀器的靈敏度創造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質不活潑，不與真空器件起化學反應，無毒，也不會污染環境，因此使用起來也十分安全。