氦質譜檢漏作為目前真空應用中較為廣泛的一種檢漏技術，發展出了多種多樣的檢漏方式。但氦質譜檢漏儀經過長時間使用后，就有可能出現靈敏度降低的情況。今天螺桿真空泵廠家就和大家一起分享下，遇到檢漏儀靈敏度降低時該怎么去維護。
影響氦質譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統以及操作人員的技術等多方面。這次螺桿真空泵廠家分享的主要是其中離子源質譜分析管受到污染后的維護方法。當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。
這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：
先用最細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；最后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。