采用氦質譜真空檢漏對真空泄漏率要求較高的大容器檢漏時檢漏靈敏度的高低是衡量檢漏結果精確與否的重要指標之一。“要充分發揮檢漏儀的能力，以求得盡可能高的檢漏靈敏度。必須對輔助真空系統進行合理設計。”通過對檢漏靈敏度的分析確定檢漏儀在真空系統中的連接方式，可以達到檢漏目的的連接方式有兩種。
檢漏儀接在前級泵側：檢漏儀接在前級一側時，令前級泵對氦氣的抽速為6,次級泵對氦氣的抽速為6%。檢漏儀支路對氦氣的抽速為6X，系統檢漏靈敏度的變化。
檢漏儀接在高真空一側時：檢漏靈敏度的變化，檢漏儀接在高真空一側通過對檢漏儀的調節，能使其在高真空側和前級側時對氦氣的抽速6X 保持一致。系統參數一般不變。可看出的高低取決于6和6% 的大小在分流狀態。有6%在次級泵起動進入穩定狀態后，一般可將前級泵處節流閥關閉。即由此可知，此時相同條件下次級泵處閥門卻不能完全斷開，即比較在需對大容器抽高真空并要求檢漏時，檢漏儀接在前級側時的系統檢漏靈敏度高于接在高真空側的檢漏靈敏度。