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  • 發布時間:2022-07-06 09:16 原文鏈接: 氧化物用電子束蒸發容易失去氧還是熱蒸鍍蒸發

    1.蒸發鍍膜和濺射鍍以及離子鍍都是物理氣相沉積(PVD)的工藝方法。
    2.蒸發鍍主要包括:電阻加熱蒸發、感應加熱蒸發、電子束蒸發、激光加熱蒸發、離子束蒸鍍等。
    3.您所說的E型槍鍍膜和直型電子槍鍍膜都是屬于熱蒸發鍍膜的范疇。
    4.S槍濺射實際就是錐形磁控濺射靶,陰極靶材為環狀錐形,安裝在水冷座上。環狀磁鋼套在靶材外邊形成曲線磁場,其平行靶面的磁場分量和垂直于靶面的電場分量形成正交電磁場。電子束被約束在靶面附近運動,電子流密度很大,在靶面附近產生很強的非彈性碰撞,電離幾率很大,形成很強的等離子體。

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