隨著科學技術的不斷發展,人們正在尋求更新的實用材料.金屬氧化物,包括金屬氧化物薄膜的各種實用材料,在工業界、信息產業界和能源開發等方面的應用前景,早已引起國內外學者的極大關注.例如,由于氧化物具有各種特殊的介電和光學性質,研究和開發基于氧化物薄膜的氣敏材料非常熱門.如何制備出有實用價值的各種薄膜材料,是科學家們一直關心和深入研究的課題.電子能譜技術在各種材料的基礎研究和實際應用中起著重要的作用.本文以有序金屬氧化物薄膜研制為例,簡要評述了電子能譜技術(包括X射線光電子能譜(XPS),紫外光電子能譜(UPS),俄歇電子能譜(AES)和高分辨電子能量損失譜(HREELS)),以及低能電子衍射(LEED)等技術在氧化物薄膜材料制備和表征中的應用.