氬離子拋光是一項適用于切割硬的，軟的，多孔的，熱敏感的，脆的和/或非均質多相復合型材料，獲得高質量切割截面，以適宜于掃描電子顯微鏡（SEM）微區分析（能譜分析EDS，波譜分析WDS，俄歇分析Auger，背散射電子衍射分析EBSD）和原子力顯微鏡（ AFM）分析。
