1.將金屬鈦放入加熱爐中,在氮氣氣流中,加熱至1000~1400℃反應直接得到氮化鈦。或者將二氧化鈦和碳以一定比例充分混合,放入加熱爐中,在氮氣氣流中加熱至1250℃還原氮化制得氮化鈦。采用氣相沉積法,由四氯化鈦、氮氣、氫氣混合氣體可以得到氮化鈦涂層。
2.往四氯化鈦的蒸發器中通入H2和N2的混合氣體,并在該氣流中將鎢絲線圈通電加熱,即有氮化鈦結晶析出(用內徑50mm的透明石英管為反應管)。實驗證明當氮氣和氫氣濃度相等,四氯化鈦濃度為0.3%,鎢絲溫度在1300~1500℃時氮化鈦的Chemicalbook析出速度最大。
3.將四氯化鈦和氮氣的混合氣體與氨氣和氫氣的混合氣體加熱到700℃以上使它們反應。在反應出口處安裝一燒瓶來收集產物。產物中的副產物氯化銨在惰性氣流中于350℃加熱十幾分鐘即可除去,進而得到黑色氮化鈦粉末。
4.直接合成法將金屬鈦放入加熱爐中,在氮氣氣流中,加熱至1000~1400℃直接合成得氮化鈦。
5.二氧化鈦還原法將二氧化鈦和炭按比例充分混合,放入加熱爐中,在氮氣氣流中加熱至1250℃還原氮化制得氮化鈦。粉碎得微細產品。也可用四氯化鈦和甲烷、氮氣、氫氣氮化制得氮化鈦。
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