1、即使在1000℃氮與鎵也不直接反應。在氨氣流中于1050~1100℃下加熱金屬鎵30min可制得疏松的灰色粉末狀氮化鎵GaN。加入碳酸銨可提供氣體以攪動液態金屬,并促使與氮化劑的接觸。
2、在干燥的氨氣流中焙燒磨細的GaP或GaAs也可制得GaN。