該設備為氮氣保護儲物柜,適用于半導體器件工藝生產過程中存放成品、半成品、原材料及器具等。
用途:
該設備為氧濃度監控型氮氣保護儲物柜,適用于半導體器件工藝生產過程中存放成品、半成品、原材料及器具等。
特點:
1. 設備具有氧濃度控制功能。代替濕度傳感器控制功能。可以做到真正節氮并更有效控制物件的氧化。
2. 主體材料采用的是進口防靜電噴涂加透明有機玻璃,美觀大方。
3. 高精度氧濃度傳感器配置信號采集轉化摸塊。
4. 我們可根據用戶的需要設計不同型式的存儲柜。