1、受熱分解：含有硬度成分的循環水進入真空泵后，隨泵的旋轉在泵體里形成水環做功發熱使溶解在水中的重碳酸鹽逐漸分解，析出不易溶于水的沉淀而結成水垢。
2、溶解度降低：負溶解度溫度系數一些鹽類隨著循環水水溫的升高而降低溶解度因此析出沉淀而形成了結垢。
3、相互反應：循環水中原本的溶解度較大的鹽類在水環真空泵的運行時和其他的鹽類發生物理化合反應形成難溶的物質而形成了水垢。
4、蒸發和濃縮。因循環水不斷做功發熱不可避免的是要產生蒸發和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷的加大達到飽和的時候析出沉淀形成水垢。
