波長色散X射線熒光光譜儀是利用原級X射線或其他光子源激發待測物質中的原子，使之產生熒光（次級X射線），從而進行物質成分分析的儀器。
優點：
不破壞樣品，分析速度快，適用于測定原子序數4以上的所有化學元素，分析精度高,樣品制備簡單。
