要想獲得最佳的濕度測量數據，選擇正確的測量儀器十分重要。同時，還應定期按照可追溯性標準進行校準。
在潔凈室內生產的產品范圍很廣，包括藥物和半導體等。通常情況下，濕度、溫度、顆粒和壓力都是受控的，因為這些參數對產品質量和生產效率而言具有非常重要的影響。
相對濕度
相對濕度（%RH）用于描述存在于空氣和水的氣體混合物內的水蒸氣含量。它是指空氣中實際含有的水蒸氣量與當時溫度下飽和水蒸氣量的百分比。在生產現場出現的問題，例如材料的膨脹和收縮、硬化和軟化、液體的粘度變化、微生物的繁殖、靜電增加、腐蝕和生銹等很大程度上都受到濕度的影響。
露點
露點（Td）是指露水或冷凝水在冷卻氣體上形成時的溫度。露點溫度用于描述氣體（例如空氣）中非常微小的水分含量。半導體在微機械加工過程中，由于水分子被認為是污染物，因此其加工環境極其干燥。在這種情況下，相對濕度幾乎保持在0%RH，但是露點溫度對于被測氣體的水分含量變化而言仍然非常敏感。
不同的應用，不同的需求
A制藥廠通常配備有大量的潔凈室。溫度和濕度的控制和記錄都嚴格按照GMP（優良制造規范）的要求執行。濕度傳感器最重要的特性就是誤差非常小。進行精確的校準對于傳感器而言至關重要，這樣可以檢查其在長時間內是否存在漂移現象。
在食品加工廠，必須將生產現場保持或低于某一特定的濕度。通常為40%或更低的濕度值。這有助于抑制可能引發食物中毒的微生物和細菌的繁殖。
在半導體和電子產品工廠，產品的更新換代越來越快。因此，在生產過程中對濕度和露點的控制也變得更加嚴格。在生產現場的微環境下，常常要求達到+ / - 1%RH的超高精度。液晶顯示器制造廠和涂料生產廠的濕度控制也同樣重要。在這種情況下，濕度傳感器的耐用性和精度就顯得十分重要。這些工廠會產生影響傳感器元件的各種氣體。
濕度和露點傳感器技術
用于測量空氣中水分含量的濕度傳感器大致可分為兩種類型。一種用于測量濕度，另一種則用于測量露點。在濕度水平高于10%RH的空氣中通常需要進行濕度測定，在低濕度的環境下，則傾向于測量露點。在某些高濕條件下，采用露點測量會更方便。
濕度和露點傳感器包括：
1. 干濕球濕度計
2. 機械濕度計
3. 氯化鋰露點儀
4. 電阻型濕度計
5. 電容型濕度計（結露儀）
6. 鏡面露點儀
傳感器1 - 6可以測量一般的濕度。傳感器5和6也可用于低露點的測量。每種技術的原理簡述如下：
1. 干濕球濕度計是濕度計的簡單型，由兩個溫度計組成。一個溫度計有一個干球，另一個球則保持在濕潤狀態以便測定濕球溫度。濕球通過水的蒸發作用冷卻。蒸發量以及溫度計的冷卻狀態取決于空氣的濕度。這一數據連同濕度查算表或計算結果一起被用來測定周圍空氣中的水氣分壓和相對濕度。這種方法通常被用于實驗室以及溫濕度試驗箱。
2. 機械濕度計用一種能隨濕度的變化而伸長或收縮的器具，例如人的頭發，以此來測量和記錄濕度。這種測量方法已經使用了很長時間。但是這種方法的精度不太理想。
3. 根據氯化鋰的吸濕特性（物質吸收水分子的能力），可采用氯化鋰露點儀作為測量手段。傳感器由一個卷軸組成，卷軸用一塊吸附性布料和一個惰性電極雙股線圈（兩根絕緣導線，電流逆向穿過）覆蓋。卷軸用氯化鋰包覆。交流電通過線圈和氯化鋰溶液，達到電阻加熱的效果。卷軸受熱之后，水分從氯化鋰溶液中蒸發，其蒸發率受周圍空氣中的水分氣壓控制。當卷軸開始干燥時，氯化鋰溶液的電阻增加，此時通過線圈的電流較小。這樣可以讓卷軸冷卻。當卷軸的加熱和冷卻達到一個平衡點時，它既不吸收也不排出水分，并且其平衡溫度與周圍空氣的露點溫度成正比。