潔凈室的濕度測量（二）

4. 電阻型濕度計利用材料電阻的變化來吸收水分。它用特殊的傳感器來測量通過電線的電流電阻。這類傳感器適合于批量生產，幾乎大多數用于家用電器和其它電器產品。但是，在極低或極高的濕度環境下，其測量精度可能會受到影響。

5. 電容型濕度計利用檢測聚合物薄膜的電容變化來測量濕度。這類傳感器可以輕易達到相當高的精度，并且大部分用于工業領域。Vaisala生產的ZL產品HUMICAP?濕度傳感器正是采用了此項技術。

6. 鏡面露點儀利用含水蒸氣的空氣在冷卻過程中在達到露點溫度時產生露水這一特點進行測定。鏡面達到氣體的露點溫度后被冷卻。露水凝結時，它會改變鏡面上的反射光。鏡面達到平衡狀態時，蒸發和凝結作用的速度相同，鏡面的溫度等于被測氣體的露點溫度。這類傳感器通常被研究機構所用。

用于潔凈室的大多數傳感器包括電阻型濕度計、電容型濕度計（結露儀）和鏡面露點儀。選擇某種適當的儀器時，不但要關注其價格和產品規格，而且還應考慮其測量精度、制造商的應用經驗以及可用的服務。所有這些因素都有助于改善用戶的實際體驗效果，也有助于實現成功的運行。

定期可追溯的校準非常重要

校準時務必確保測量設備提供的數據是可靠和精確的。定期校準是絕對必要的。常用的校準周期可參閱表1。對于已安裝的濕度和溫度裝置，表格2給出了可追溯信息鏈的實例。從全球范圍來看，所有的測量數據都基于全球通用的國際單位制（SI）。這樣可以確保我們采用相同的數量，而且在各種不同的地點，在各種型式設備上測得的數據具有可比性。

表1 測量設備的典型校準間隔周期

表2 濕度與溫度測量裝置的可追溯性鏈實例

國家實驗室負責保留和制定這種可追溯性記錄，并提供最高精度的校準服務。國家計量標準實驗室提供的校準服務可能僅限于最高級別的原始標準校準。

商業性的校準服務則適用于較低等級的標準和測量設備。這些可以是制造商對他們自己的產品提供的校準服務，或者是實驗室為任何測量設備提供校準服務。未經認可的校準服務是指大多數服務供應商（包括大部分測量設備制造商）的校準服務和大量商業性校準服務。未經認可的服務其資質是不可靠的。在使用之前，其校準資質應經過相應的審核。每個校準服務供應商都必須擁有一套有效的可追溯信息鏈。最低限度要求是原始標準必須在外部實驗室進行校準，然后再用于校準服務。如果沒有單獨要求，一些商業性的校準服務所提供的校準證書不包括不確定性估算這項服務。一些校準服務根本無法計算不確定數據。因此請務必考慮這些服務的資質。

擁有一套內部的校準系統有時候是切實可行的。如果測量設備很難轉移（現場校準），或校準設備的數量很多的話，這種做法是行之有效的。要建立一套內部的校準系統，應設立一個適當的組織機構。這個機構可以只有一個人，也可以是配有管理人員和校準人員的一個部門。

實驗室校準通常優于現場校準。在實驗室內，環境造成的影響可以減小到最低程度，并且可以非常明顯地減少影響校準的不利因素。現場校準是一種簡單快速的檢查測量設備的方法，它不需要將設備從加工區域移走。現場校準需要一種操作標準作為基準。這種操作標準可以規定用手持式的設備或其它的設備來校準安裝在工藝現場的儀器。操作標準應在更高級別的

實驗室進行校準。

Vaisala已經通過了Vaisala壓力、溫度、露點和濕度儀器的校準服務認證。用戶可以通過區域性服務中心獲得相應的校準服務。這些服務可以同時用于已經安裝的設備以及交付的新設備。

您可以通過www.vaisala.com/calibration book免費獲取Vaisala校準手冊。本手冊含有關于校準的全部有用信息。

參考文獻：

Arun S. Mujumdar; Handbook of Industrial Drying (2006)

Arun S. Mujumdar；《工業干燥手冊》（2006）

Vaisala Calibration Book (2007)

《Vaisala校準手冊》（2007）