淬火熱處理時常見的缺陷有氧化、脫碳、變形、裂紋、過熱、過燒、硬度不足、軟點、軟斑等，其中氧化、脫碳、過熱、變形和開裂最為嚴重。如何防止氧化、脫碳的產生呢?在箱式電爐及井式電爐中，有通入保護性氣體的，也有以滴入煤油、甲醇、或通入氨、氮等氣體加以保護的；更簡單的辦法是放些木柴，產生co等氣體來加以保護。目前，用涂料形式在零件表面涂以某種保護劑，同樣能有效地防止零件氧化、脫碳。在鹽浴爐中一般用硅膠來脫氧也能得到良好的效果。
