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  • 儀器名稱:高分辨高靈敏度表面分析系統
    儀器編號:22000545
    產地:捷克
    生產廠家:泰斯肯
    型號:S9000X
    出廠日期:
    購置日期:2021-12-30

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    所屬單位:材料學院>材料中心 >逸夫樓部分>高分辨高靈敏度表面分析分室
    放置地點:逸夫技術科學樓A136
    固定電話:62797277
    固定手機:
    固定email:
    聯系人:劉興濤(010-62795910,13910534338,liuxingtao@tsinghua.edu.cn)
    陳雨彤(010-62797277,18001311612,tizzy@mail.tsinghua.edu.cn)
    李曉靜(010-62795910,15711230000,lixiaojing@mail.tsinghua.edu.cn)
    分類標簽:SEM 時間飛行二次離子質譜 表面分析 FIB TOF-SIMS SEM-Raman 能譜 EBSD 聚焦離子束
    技術指標:

    掃描電鏡(SEM): 二次電子分辨率: 15kV---0.7nm,1kV---1nm;加速電壓:0.02 ~ 30kV; 

    能譜(EDS):能譜儀分辨率:127eV (Mn Ka); 

    電子背散射衍射系統(EBSD):取向差角分辨率:0.05度;最快在線采集速度:400點/秒;

    聚焦離子束(FIB):離子源:Xe等離子體;加速電壓:3kV ~ 30kV;束流范圍:1pA ~ 2mA;                                

    時間飛行二次離子質譜(TOF-SIMS): 全元素分析;檢出限:優于1.5ppm;質量分辨率:優于800;空間分辨率:橫向優于60nm,深度方向優于3nm;

     拉曼光譜儀(Raman):光源波長:532nm,633nm,785nm;激光功率連續可調;成像空間分辨率:XY方向優于360nm(532nm光源),Z方向優于1000nm(532nm光源)。

    知名用戶:材料學院:南策文,張政軍,陳祥,蔡強,伍暉,等;物理系:范首善,等;化工系:張強,等;機械系:邵天敏,常保華,蔡志鵬,等,航院:袁荒,等;微電子所:蔡堅,等;北京科技大學;北京郵電大學;首都師范大學;湖南大學;北京有色金屬研究院,等。
    技術團隊:

    材料中心高分辨高靈敏度表面分析分室現有主管工程師一人,合同制人員一人。其中主管工程師有多年大型設備測試分析和開放管理的經驗,保證設備的全時全面開放。

    功能特色:

    高分辨高靈敏度表面分析系統是在傳統電鏡分析基礎上,集成了聚焦離子束(FIB),拉曼光譜(Raman),飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS),電子背散射衍射(EBSD)和能譜(EDS)等配置,將形貌、能譜、光譜、質譜集成為一個系統,實現對樣品進行多方位的綜合表征。上述配置和附件既可以獨立使用,也可以相互聯合使用,能滿足多種材料的表面測試分析及加工需求。例如,掃描電鏡、能譜和電子背散射系統聯用,可以原位得到樣品指定區域的形貌、成份以及晶體取向、晶粒大小及相分布等信息;也可以將掃描電鏡和拉曼光譜儀聯用,可以進行形貌觀察和相鑒定及相結構分析等。

    樣品要求:

    1. 本室不測試有毒有害,有放射性,有腐蝕性,能會發出刺激性氣味的樣品;

    2. 本室不測試有磁性樣品,不測試在10-3 Pa真空下揮發的樣品;

    3.塊體樣品的尺寸:橫向小于10*10 mm,高度小于5 mm。表面平整;

    4. 如果需測試粉末樣品或是表面不平整樣品,需提前和工作人員討論溝通。


    預約說明:

    1. 一般情況下,周一早上8:00起開始預約第二周的機時(如遇節假日,按學校規定進行調整);

    2. 如果首次預約,必須和工作人員溝通后再預約機時。否則預約的機時不予取消或更改;

    3. 預約需提前一小時進行。預約后,若要取消機時,必須于所預約開始時間24小時以前取消;

    4. 如需預約非工作時間機時,請提前和工作人員討論溝通;

    5. 某些特殊測試,非工作時間不開放。

    項目名稱計價單位費用類別價格備注
    EBSD 機時費元/小時自主上機機時費700.0隨測試條件和樣品不同,收費標準會有變化,增加數在0-100元/小時之間
    FIB 機時費元/小時自主上機機時費1200.0隨測試條件和樣品不同,收費標準會有變化,增加數在0-500元/小時之間
    FIB-TOF SMIS 聯用 機時費元/小時自主上機機時費1000.0
    Raman 機時費元/小時自主上機機時費800.0隨測試條件和聯用附件不同,收費標準會有變化,增加數在0-100元/小時之間
    TOF-SIMS 機時費元/小時自主上機機時費700.0
    原位SEM,EDS機時費元/小時自主上機機時費800.0


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