清華大學儀器共享平臺泰斯肯高分辨高靈敏度表面分析系統

掃描電鏡（SEM）： 二次電子分辨率： 15kV---0.7nm，1kV---1nm；加速電壓：0.02 ～ 30kV; 

能譜（EDS）：能譜儀分辨率：127eV (Mn Ka); 

電子背散射衍射系統（EBSD）：取向差角分辨率：0.05度；最快在線采集速度：400點/秒；

聚焦離子束（FIB）：離子源：Xe等離子體；加速電壓：3kV ～ 30kV；束流范圍：1pA ～ 2mA；                                

時間飛行二次離子質譜（TOF-SIMS）： 全元素分析；檢出限：優于1.5ppm；質量分辨率：優于800；空間分辨率：橫向優于60nm，深度方向優于3nm；

 拉曼光譜儀（Raman）：光源波長：532nm，633nm，785nm；激光功率連續可調；成像空間分辨率：XY方向優于360nm（532nm光源），Z方向優于1000nm（532nm光源）。

材料中心高分辨高靈敏度表面分析分室現有主管工程師一人，合同制人員一人。其中主管工程師有多年大型設備測試分析和開放管理的經驗，保證設備的全時全面開放。

高分辨高靈敏度表面分析系統是在傳統電鏡分析基礎上，集成了聚焦離子束（FIB），拉曼光譜（Raman），飛行時間二次離子質譜（TOF-SIMS），電子背散射衍射（EBSD）和能譜（EDS）等配置，將形貌、能譜、光譜、質譜集成為一個系統，實現對樣品進行多方位的綜合表征。上述配置和附件既可以獨立使用，也可以相互聯合使用，能滿足多種材料的表面測試分析及加工需求。例如，掃描電鏡、能譜和電子背散射系統聯用，可以原位得到樣品指定區域的形貌、成份以及晶體取向、晶粒大小及相分布等信息；也可以將掃描電鏡和拉曼光譜儀聯用，可以進行形貌觀察和相鑒定及相結構分析等。