| 儀器名稱： | 場發射掃描電鏡 |
| 儀器編號： | 05002783 |
| 產地： | 荷蘭 |
| 生產廠家： | FEI |
| 型號： | Sirion200 |
| 出廠日期： | 200403 |
| 購置日期： | 200502 |
| 所屬單位： | 物理系>納米中心>納米中心測試平臺 |
| 放置地點： | 納米樓電鏡室 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 顧小華（010-62792435,13683096996,guxhua@mail.tsinghua.edu.cn） 張麗娜（010-62792435,13693252406,zhanglina@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 電子顯微鏡 |
| 技術指標： | 型號：Sirion 200 加速電壓：200V－30KV； 分辨率：10KV，1.5nm；1KV，2.5nm；EDAX 能譜儀：133eV，Be－U。 熱場發射電子槍，配能譜儀，可用于各種固體材料的表面形貌分析與測量；用于材料的化學成份及相關成份分析。 |
| 知名用戶： | 校內用戶：清華大學化學系、物理系、材料系、環境系、核研院、航院、精儀系、機械系、微電子所、醫學院、工物系、熱能系、力學系、建筑系、水利系、土木系、電機系、基礎工業訓練中心等二十余個院系。校外用戶：北京大學、中科院國家納米中心、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地質大學、成都電子科技大學、上海交通大學、同濟大學等多個課題組 |
| 技術團隊： | 屬于納米中心測試加工平臺，有完善的組織管理體系，有經驗豐富的儀器維護管理工程師和專業的實驗員，還有納米中心廠務部門支持儀器的外部水，電，氣的供應等。 |
| 功能特色： | 熱場發射電子槍，配EDAX能譜儀，高真空,系統穩定性好,分辨率高,可用于各種固體材料和器件的表面形貌分析與測量；以及材料的化學成份及相關成份分析。低電壓性能穩定,特別適用于單壁碳納米管等半導體材料的形貌表征.二次電子像有HR，UHR兩種分辨率模式，能譜分析包括成分的點，線分布，面分布分析等。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| EDS測試費 | 元/次 | 測試費 | 100.0 | |
| STEM測試費 | 元/次 | 測試費 | 100.0 | |
| 掃描電鏡測試費 | 元/小時 | 測試費 | 300.0 |
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