激光干涉儀的工作原理是什么

激光干涉儀，對于機床的精準測量與校正提供了有效的解決方案。

能同時進行三維數據測量，其距離方向（Z軸）的測量值為納米精度。此方案適用于質量監控，特別是在機床的校準方面。

優點：測量精確度高，友好的用戶界面和完整的數據記錄以及存檔。產品的性價比高。

缺點：設置干涉儀時需格外小心。激光光束在測量期間不允許被中斷。

激光發射器，激光接收器（PSD）和均衡器都集成在μLine F1中。

StatusPro的干涉儀是雙頻激光干涉儀，其頻率差為7M。

可以通過手動，半自動或全自動的方式進行測量點的數據采集。友好的用戶界面，各個組件之間全部為無線藍牙連接。優秀的軟件能自動生成G代碼與均衡表，無需復雜的轉換。除了普遍生成的格式，還為客戶提供特定的控制變量進行使用，例如：Siemens，Fanuc和Haidenhain。

軟件生成的測量報告和圖表完全符合ISO/DIS 230和PN-93 M55580的標準。統計結果是按照ISO230-2（歐洲），VDI/DGQ 3441（德國），NMTBA（美國），BSIBS 4656條款16（英國），PN-93 M5580（波蘭）的標準進行制訂和存儲的。

原理簡介

其基本原理是依據光波的疊加。從激光發射器射出的激光被分光器分為兩束激光。一束激光經過固定反射器被偏轉從而反射回激光接收器，成為參考激光（如圖：紅色的激光）。另一束激光通過分光器（如圖：還是紅色的激光）和移動反射器（如圖：綠色的激光）成為測量激光。參考激光和測量激光通過分光器后匯合（光波疊加）并彼此干涉的被激光接收器所接收。以此稱為干涉儀。

參考激光是固定不動的，而測量激光會隨著移動反射器的移動而變化。

相長干涉：如果兩束激光相位相同，測量光波會疊加增強，表現為亮的干涉條紋。

相消干涉：如果兩束激光相位相反，測量光波會疊加抵消，表現為暗的干涉條紋。