中文名稱
激光蒸發與沉積
英文名稱
laser evaporation and deposition
定 義
利用高能量密度的激光束,使材料氣化并沉積在適當基體上,以獲得各種薄膜的方法。
應用學科
機械工程(一級學科),光學儀器(二級學科),激光器件和激光設備-激光應用(三級學科)