霧化器
霧化器的作用是將分析樣品霧化。通常采取氣動同心霧化器。具有一定壓力的壓縮空氣作為助燃器進入霧化器，從樣品毛細管周圍高速噴出，被通入的助燃氣飛散成霧滴（氣溶膠）。霧滴越細越易干燥、融化、汽化，生成自由原子也就越多，測定靈敏度也就越高。
霧化室
霧化室的作用是使試液霧進一步細化并與燃氣均勻混合，以獲得穩定的層流火焰。為達此目的，常在霧化器設有撞擊球，擾流器及廢液排出口等裝置。大霧滴或液滴凝集后由廢液口排出，之后直徑小而均勻的細小霧粒被引進燃燒器。
燃燒器
燃燒器的作用是產生火焰并使樣品原子化。被霧化的試液進入燃燒器，在燃燒的火焰中蒸發、干燥形成干氣溶膠霧粒，再經融熔化、受熱解離成基態自由原子蒸氣。燃燒器應能使火焰燃燒穩定，原子化程度高，并能耐高溫，耐腐蝕。燃燒器具有單縫和三縫兩種，常用的燃燒器是單縫的，對空氣-乙炔火焰，其縫長10-300px，縫寬0.5-0.7mm。也有三縫火焰，它可以增加火焰的寬度。