火焰法原子吸收光譜儀的組成部分主要包括光學系統、單色器系統、光度計、空氣壓縮泵、汽油汽化器,節流器和噴霧器系統等。原子吸收光譜儀可測定多種元素,火焰原子吸收光譜法可測到10-9g/mL數量級,石墨爐原子吸收法可測到10-13g/mL數量級。其氫化物發生器可對8種揮發性元素汞、砷、鉛、硒、錫、碲、銻、鍺等進行微痕量測定。