熱導式氣體分析器的用途

熱導式氣體分析器在低量程方面還有許多不足，不能檢測微量成分，主要是因為傳感器的檢測靈敏度低，受背景氣體影響大。德國產集成化微加工工藝制造的微型傳感器（MEMS）的一致性和導熱性能高出幾個數量級，使檢測精度和穩定性大大提高。